半導(dǎo)體生產(chǎn)過程對(duì)氣體的純凈度要求極高,精確控制氣體中的微粒含量是納微米氣體過濾器的重要應(yīng)用領(lǐng)域。同時(shí),半導(dǎo)體制造過程中涉及的工藝氣體,部分具有腐蝕性、高純度等特性,高質(zhì)量的過濾器有助于精準(zhǔn)清除超純氣流中的微粒,保障生產(chǎn)環(huán)境的純凈度,從而確保...
在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中,氣體過濾器是確保氣體純凈度、提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵設(shè)備。長期以來,進(jìn)口不銹鋼氣體過濾器在市場上占據(jù)重要地位,但高昂的成本、較長的供貨周期以及定制化服務(wù)的不足,使得國內(nèi)企業(yè)對(duì)國產(chǎn)替代產(chǎn)品的需求日益迫切。恒歌不銹鋼氣體過...
在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中,高純氣體的過濾是確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。特別是在半導(dǎo)體、電子、化工等對(duì)氣體純度要求極高的領(lǐng)域,選擇一款性能卓越的氣體過濾器至關(guān)重要。恒歌納米級(jí)氣體過濾器憑借其卓越的性能和優(yōu)勢,成為進(jìn)口產(chǎn)品的理想替代方案。
KF系列真空系統(tǒng)是一種廣泛應(yīng)用于中低真空環(huán)境的快速接頭法蘭系統(tǒng),其設(shè)計(jì)旨在實(shí)現(xiàn)快速搭接和拆卸,適合于需要頻繁更換系統(tǒng)配置或進(jìn)行清潔的場景。KF系列真空系統(tǒng)具有以下特點(diǎn):
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝是關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一,對(duì)氣體純凈度和工藝穩(wěn)定性有著極高的要求。KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器憑借其卓越的性能,為CVD工藝提供了可靠的氣體凈化解決方案,以下是其在CVD工藝中的應(yīng)用優(yōu)勢:
在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中,真空系統(tǒng)氣體過濾器對(duì)于保障工藝的純凈度和穩(wěn)定性至關(guān)重要。恒歌KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器憑借其卓越的性能和廣泛的應(yīng)用場景,成為眾多高科技產(chǎn)業(yè)的首選設(shè)備。
在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中,大宗氣體的高效過濾是確保生產(chǎn)流程順暢和產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。特別是在半導(dǎo)體、電子、化工等對(duì)氣體純度要求極高的領(lǐng)域,選擇一款性能卓越的氣體過濾器至關(guān)重要。恒歌 BF 系列大宗氣體專用過濾器憑借其高通量、低阻力的特性,成為滿足大...
選擇合適的高壓氣體過濾器需綜合考慮氣體性質(zhì)、流量、過濾精度、壓力等多方面因素,以下是具體的選擇方法:
在半導(dǎo)體制造過程中,化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、蝕刻(Etch)、外延生長(Epi)等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)對(duì)氣體純凈度要求極高。過濾器能夠高效捕捉并去除氣體中的塵埃、金屬微粒等雜質(zhì),確保進(jìn)入工藝區(qū)域的氣體純凈度達(dá)到極高的標(biāo)準(zhǔn),從...
在高壓氣體過濾器的應(yīng)用中,高純氣體(如氮?dú)?、氫氣?和腐蝕性氣體(如氟化物氣體、氯化物氣體等)對(duì)過濾器的材質(zhì)要求最高。以下是具體原因: