半導體生產過程對氣體的純凈度要求極高,精確控制氣體中的微粒含量是納微米氣體過濾器的重要應用領域。同時,半導體制造過程中涉及的工藝氣體,部分具有腐蝕性、高純度等特性,高質量的過濾器有助于精準清除超純氣流中的微粒,保障生產環(huán)境的純凈度,從而確保...
在現(xiàn)代工業(yè)生產中,氣體過濾器是確保氣體純凈度、提升生產效率和產品質量的關鍵設備。長期以來,進口不銹鋼氣體過濾器在市場上占據(jù)重要地位,但高昂的成本、較長的供貨周期以及定制化服務的不足,使得國內企業(yè)對國產替代產品的需求日益迫切。恒歌不銹鋼氣體過...
在現(xiàn)代工業(yè)生產中,高純氣體的過濾是確保產品質量和生產效率的關鍵環(huán)節(jié)。特別是在半導體、電子、化工等對氣體純度要求極高的領域,選擇一款性能卓越的氣體過濾器至關重要。恒歌納米級氣體過濾器憑借其卓越的性能和優(yōu)勢,成為進口產品的理想替代方案。
KF系列真空系統(tǒng)是一種廣泛應用于中低真空環(huán)境的快速接頭法蘭系統(tǒng),其設計旨在實現(xiàn)快速搭接和拆卸,適合于需要頻繁更換系統(tǒng)配置或進行清潔的場景。KF系列真空系統(tǒng)具有以下特點:
在半導體制造領域,化學氣相沉積(CVD)工藝是關鍵環(huán)節(jié)之一,對氣體純凈度和工藝穩(wěn)定性有著極高的要求。KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器憑借其卓越的性能,為CVD工藝提供了可靠的氣體凈化解決方案,以下是其在CVD工藝中的應用優(yōu)勢:
在現(xiàn)代工業(yè)生產中,真空系統(tǒng)氣體過濾器對于保障工藝的純凈度和穩(wěn)定性至關重要。恒歌KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器憑借其卓越的性能和廣泛的應用場景,成為眾多高科技產業(yè)的首選設備。
在現(xiàn)代工業(yè)生產中,大宗氣體的高效過濾是確保生產流程順暢和產品質量的關鍵環(huán)節(jié)。特別是在半導體、電子、化工等對氣體純度要求極高的領域,選擇一款性能卓越的氣體過濾器至關重要。恒歌 BF 系列大宗氣體專用過濾器憑借其高通量、低阻力的特性,成為滿足大...
選擇合適的高壓氣體過濾器需綜合考慮氣體性質、流量、過濾精度、壓力等多方面因素,以下是具體的選擇方法:
在半導體制造過程中,化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、蝕刻(Etch)、外延生長(Epi)等關鍵工藝環(huán)節(jié)對氣體純凈度要求極高。過濾器能夠高效捕捉并去除氣體中的塵埃、金屬微粒等雜質,確保進入工藝區(qū)域的氣體純凈度達到極高的標準,從...
在高壓氣體過濾器的應用中,高純氣體(如氮氣、氫氣等)和腐蝕性氣體(如氟化物氣體、氯化物氣體等)對過濾器的材質要求最高。以下是具體原因: